Высокотемпературные датчики давления

Использование полупроводниковых чувствительных элементов (ПЧЭ) на основе структур
«кремний на сапфире» (КНС) в тензопреобразователях (ТП) давления позволяет в принципе
проводить измерения при температуре ПЧЭ, достигающей 500-600 оС, когда начинается
заметная пластическая деформация кремния. В датчиках давления высокотемпературных
жидкостей и газов МИДА-ДИ-12П-12 температура измеряемой среды (и ПЧЭ) может
достигать 350 оС [1]. Дальнейшее повышение температуры ПЧЭ требует дополнительных
технологических разработок высокотемпературных контактов, защиты тензосхемы ПЧЭ и
др. Для измерения давления сред с более высокой температурой, а также для измерения
давления вязких и кристаллизующихся жидкостей можно использовать двухмембранные ТП
давления [1], в которых ПЧЭ удален от воспринимающей давление мембраны. Такую
конструкцию имеют ТП давления газов в дизелях МИДА-ДИ-55П, в которых температура
газов на входе достигает 600 оС, а также датчики давления расплавов полимеров и вязких
жидкостей МИДА-ДИ-12П-06 и МИДА-ДИ-12П-08.

3. Решение для измерения агрессивных и высокотемпературных сред.
Точное измерение параметра посредством преобразователя давления серии
DSIII с выносными разделителями давления.
При необходимости измерения параметра с высокой точностью при
температурах среды до 350°С используют выносные разделители давления (с
капиллярами). При измерении различных сред предлагаются различные
варианты исполнения выносных разделителей (нержавеющая сталь, монель,
тантал, золото).

[1] 1. Бушев В.В., Николайчук О.Л., Стучебников В.М. Серия микроэлектронных датчиков давления МИДА. // Датчики и системы, 2000, №1, с 21-27. - рекомендуется для ознакомления

Здесь же человек пишет 
Широко распространенный метод измерения давления высокотемпературных сред, при
котором давление с помощью отводной трубки или капилляра с жидкостью передается в
низкотемпературную зону, где измеряется с помощью стандартных датчиков, имеет ряд
недостатков. В частности, при измерении давления паров в отводных трубках образуется
конденсат или сублимат; при измерениях давления расплавов в качестве передающей
жидкости обычно используют экологически вредную ртуть. Кроме того, существенно
ухудшаются частотные характеристики измерительной системы.

Узнаем больше об этом методе

Трубка Перкинса

Охладитель - Стеклоприбор, Вика